超声波振板在太阳能电池硅片清洗中的应用
科力超声【Kelisonic】

超声波清洗是半导体工业中广泛应用的一种清洗方法，该方法的优点是：清洗效果好，操作简单，对于复杂的器件和容器也能清除在强烈的超声波作用下，液体介质内部会产生疏部和密部，疏部产生近乎真空的空腔泡，当空腔泡消失的瞬间，其附近便产生强大的局部压力，使分子内的化学键断裂，因此使硅片表面的杂质解吸。当超声波的频率和空腔泡的振动频率共振时，机械作用力达到最大，泡内积聚的大量热能，使温度升高，促进了化学反应的发生。超声波清洗的效果与超声条件（如温度、压力、超声频率、功率等）有关，而且提高超声波功率往往有利于清洗效果的提高，超声波震板盒多用于清除硅片表面附着的大块污染和颗粒。

硅片清洗工序是将线锯机床切割完毕的硅片从玻璃上脱离下来，将胶条去除后，将硅片清洗干净并分选出等级。清洗设备主要是预清洗机(脱胶机)和超声波清洗机。预清洗机的主要清洗流程为: 上料-喷淋-喷淋-超声波清洗-超声波脱胶清洗-超声波清水漂洗-下料。超声波清洗机的主要清洗流程为: 上料-超声波纯水漂洗-超声波纯水漂洗-碱洗-碱洗-超声波纯水漂洗-超声波纯水漂洗-预脱水(慢提拉)-烘干下料。

硅片清洗机超声波振板是一种利用超声波空化现象进行硅片清洗的设备。由超声波振盒。超声波发生器、超声波振子换能器组成。超声波发生器产生高频电能，PZT压电陶瓷换能器将高频电能转换为机械能，清洗溶剂中超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的微小气泡，存在于液体中的微小气泡（空化核）在声场的作用下振动，当声压达到一定值时，气泡迅速增长，然后突然闭合，在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压力，数百度的高温，利用闭合时的爆炸冲击波破坏不溶性污物而使它们分散于清洗液中，当团体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子即脱离，从而达到清洗附着在硅片表面的杂质和污垢，使其从硅片表面脱落这种振动能量能够破坏附着在硅片表面的杂质和污垢，使其从硅片表面脱落。